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真空镀膜机@@真空计种类@@?
发布时间@@:2021-05-18 浏览@@:765 次@@

  电阻真空计@@(又叫皮喇尼真空计@@):

  它主要由电热丝@@、外壳和支架构成@@,主要是根据在低压下@@,气体的热传导系数与压强成正比的方式工作的@@。上面开口处与被测真空系统相连接@@,热丝采用电阻温度系数大的金属丝做成@@,两支支架引线与测量线路连接@@。当压强降低的时候@@,由于气体热传导散失的热量减小@@,因此当热丝加热电流稳定时候@@,则热丝温度就上升@@,热丝的电阻就增大@@,用测量热丝电阻值的大小来间接测量压强@@。

  磁控放电真空计@@:

  工作原理@@:在放电开始时@@,由于空间游离电子向阳极运动时@@,在正交电磁场作用下@@,电子的轨迹不是直线而是螺旋线前进@@,又因为阳极是框形@@,故电子不一定第一次@@就碰上阳极@@,而是穿过阳极@@,然后受到对面阴极的拒斥@@,又复返回@@。这样反复多次@@才可能打上阳极@@。由于电子路程大大加长@@,故碰撞及电离的分子数增加@@,使得在较低压强@@(10-4帕以下@@)仍维持放电@@(也称潘宁放电@@)。

  目前比较多的型号@@有@@PKR251、GI-PARY

  放电管真空计@@:

  在玻璃管中封入两个金属电极@@,在其上加上数千伏的直流高电压@@,在一定的压强范围内@@(1*10-3~2*10托@@)内就能引起自持放电@@,通过放电颜色来判定其真空度@@ 。 目前为止此种真空计已经很少使用@@,因为其误差大@@,容易损坏@@,而且寿命不长@@。