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真空镀膜机@@各部件作用讲解@@?
发布时间@@:2021-09-14 浏览@@:22 次@@

  真空镀膜机@@是目前制作真空条件应用最为广泛的真空设备@@@@,一@@般用真空室@@、真空机组@@、电气控制柜三大部分组成@@@@,排气系统采用@@“扩散泵@@+机械泵@@+罗茨泵@@+低温冷阱@@+polycold”组成@@。

  一@@、真空主体@@——真空腔根据加工产品要求的各异@@,真空腔的大小也不一@@样@@,目前应用最多的有直径@@1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等@@,腔体由不锈钢@@" target=_blank>不锈钢材料制作@@,要求不生锈@@、坚实等@@@@,真空腔各部分有连接阀@@,用来连接各抽气泵浦@@。

  二@@、辅助抽气系统@@:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分@@,主要有由机械泵@@@@、增压泵@@(主要介绍罗茨泵@@@@)、油扩散泵@@三大部分组成@@@@。此排气系统采用@@@@“扩散泵@@+机械泵@@+罗茨泵@@+低温冷阱@@+polycold”组成@@。排气流程为@@:机械泵@@先将真空腔抽至小于@@2.0*10-2PA左右的低真空状态@@,为扩散泵@@后继抽真空提供前提@@,之后当扩散泵@@抽真空腔的时候@@,机械泵@@又配合油扩散泵@@组成@@串联@@,以这样的方式完成抽气动作@@。

  机械泵@@:也叫前级泵@@,机械泵@@是应用最广泛的一@@种低真空泵@@,它是用油来保持密封效果@@并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积@@,使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空@@。

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